机台(equipment, EQP)是半导体工艺制程中用来对原材料实际执行半导体工艺操作的机器，其可以对半导体工艺中的各种参数进行设置和控制。
EAP(EqUipmentAutomat1n Process,设备过程自动化)系统主要用来对生产线上的机台进行实时监控，是实现生产自动化不可缺少的监控系统。
在传统的制造系统中，ΕΑΡ和EQP—对一连接进行消息交互。而实际上，在生产过程中，还需要RTM(设备工艺制片数据收集)系统来收集机台的工艺制片数据。当EQP被ΕΑΡ占用时，就不能使用RTM连接EQP。